（一) 洁净室的定义　　

洁净室是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动的空间。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。是集建筑装饰（与大气相对隔断的密闭装修）、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道等多种专业技术于一体的产物，洁净室（或洁净厂房）。

(二) 洁净室的分类实现层流的低风速值

2.1按用途分类(可分为两大类)　

①工业洁净室-以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。　

②生物洁净室：以控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。又可分为：　

A.一般生物洁净室，主要控制微生物（细菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保持正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。

B.生物学安全洁净室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。　　　

2.2按气流分类(按气流可分为四类)　　

①.单向流洁净室（层流、活塞流）　　

②.乱流净室　　

③.辐射流（斜流）洁净室　　

④.复合式洁净室（乱流、层流同在）　

(三) 单向流(层流)洁净室(又称垂直流，平行流)　　

房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。

缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

(四) 乱流洁净室的原理和特性　　

1、定义：乱流洁净室的定义是气流以不均匀的速度是不平行流动，伴有回流或涡流的洁净室。　　

2、原理：乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，把室内污染逐渐排出，来实殃洁净的（乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别）。

3、特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净级别。换气次数决定定义无反顾的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）。

4、优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。

5、缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。　　

(五) 复合式洁净室

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

①洁净隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：弹性扩充容易；维修设备时可在维修区轻易执行。

②洁净管道(CleanTube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

③并装局部洁净室(CleanSpot)：将洁净室等级10，000~100，000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。另外还有洁净工作台和洁净工作棚等。　

(六)洁净室的新风要求　　

按《洁净厂房设计规范》规定，乱流洁净室新风量应不小于总风量的10%-30%；单向流洁净室，新风量应不小于总风量的2%-4%，当然也可以根据洁净室的具体功能而定。